近年來自主創新的金屬有機源(MO源)實現大規模應用，占國內市場的60%以上;藍寶石襯底材料可滿足國內市場需求的50%以上，目前圖形化襯底已經在批量供應，產品結構的調整已見成效;自主開發的熒光粉、塑封樹脂占有30%的市場份額

關白玉表示，2012年年底，國內多家企業研發成功的外延設備MOCVD開始與芯片廠家進行工藝磨合。2013年和2014年電子發展基金項目支持的MOCVD等國產設備相繼進入芯片生產線試用，從目前情況來看，進展順利。同時，多種LED生產專用設備和多種光、電、色、熱性能檢測儀器等已經用于LED生產線，運行穩定。

“就LED的生產過程來說，從藍寶石材料開始，一直到PSS、外延、芯片端，再到最后的減薄等工藝，目前，國產設備已經能夠很好地代替進口設備。”北方微電子裝備有限公司副總裁紀安寬在接受《中國電子報》記者采訪時表示，“尤其是最近幾年發展比較快的外延、芯片的關鍵設備，也都實現了國產化。”

按工序的具體順序來看，據紀安寬介紹，浙江晶盛生產的90公斤藍寶石單晶爐，蘇州赫瑞特、湖南宇晶、唐山晶玉、中國電子科技集團公司第四十五研究所(以下簡稱“45所”)等生產的多線切割機，中晟光電、中微半導體的MOCVD設備，45所的清洗設備、光刻機，北方微電子的PECVD設備、ITO薄膜濺射設備、AlN薄膜濺射設備、GaN ICP刻蝕機、PSS ICP刻蝕機，深圳矽電半導體設備有限公司的全自動點測設備，45所、大族激光、蘇州德龍的激光劃切機，45所的自動粘片機、自動引線鍵合機等等，各項技術指標均已接近或超過國外主流機型，部分型號已經成為主流企業生產線上的主力量產機型。

劃片機、蝕刻機、勻膠機都是值得一提的應用領域。梁旭東表示，以劃片機為例，2008年以前國內使用的激光劃片機只有Newwave、Opto、JPSA等3家企業的產品，進口設備一統天下，完全看不到國產設備的身影。在2008年5月份以后，市場上陸續出現了德龍、大族、華工等國內設備企業。經過他們幾年間不懈的努力，到2011年，紫外劃片機市場已經基本成了國產設備的天下，設備單價大幅下降，設備產能也大幅提升。

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