《半導體照明科技發展“十二五”專項規劃》曾明確提出,“十二五”期間將“實現大型MOCVD 設備及關鍵配套材料的國產化”。 “十二五規劃”在2015 年即將到期,LED設備國產化的目標正在加速實現。

　　目前從藍寶石材料開始,一直到PSS、外延、芯片端,再到最后的減薄等工藝,國產設備已經能夠一部分地取代進口設備。我國LED 專用設備、儀器和材料配套能力正在逐步形成。

　　自主創新的金屬有機源(MO 源)實現大規模應用,占國內市場的60%以上;藍寶石襯底材料可滿足國內市場需求的50%以上, 2013 年和2014 年電子發展基金項目支持的MOCVD等國產設備相繼進入芯片生產線試用,從目前情況來看,進展順利。

　　同時,多種LED生產專用設備和多種光、電、色、熱性能檢測儀器等已經用于LED生產線,運行穩定。經過十余年的努力,國內設備生產企業在部分領域取得了突破,獲得了較高的市場份額。但是還有很多環節的市場主要被國外企業占據。

　　目前國內多家企業生產的MOCVD設備被有多家外延芯片企業試用,而其他設備如研磨機、清洗機、甩干機、蒸鍍機、裂片機、點測機、分揀機等,市場上雖有部分國產設備,但一般都很難超過30%的份額。主要阻礙來源于技術方面,研發成本較高、研發周期較長、技術更新快之外,市場推廣也很難。

　　國產設備沒有量產的檢驗及反饋后的改進,因此在穩定性上略有不足。但是總的來說,國產設備的出現帶來了一系列優異的本地化服務,直接影響到了進口設備廠商的產品價格和服務態度。

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